朗道燧岩 EUV 光源系统样机 2026 工博会首秀：国产化率达 90%，距量产仍需 3~5 年

IT之家 10 月 14 日消息，2026 年第二十六届中国国际工业博览会正在国家会展中心（上海）举行，创新科技馆内百余项上海科创成果集中亮相。 据解放日报，朗道燧岩首次在此次工博会上展示了一台极紫外（EUV）光源系统样机，这也是目前公开展示中国产进度最靠前的 EUV 光源样机，被称作高端光刻机的“心脏”。 据现场工作人员介绍，本次展出的光源系统国产化率达 90%，绝大多数核心零部件为自主研发，技术路线与国际领先厂商一致，可用于芯片曝光测试。 解放日报指出，极紫外光源是 7nm 及以下先进制程芯片制造的三大核心零部件之一，长期受海外技术垄断与禁运限制，是制约中国高端芯片自主可控的关键环节。 I…