SK 海力士目标 2028 年将 High NA EUV 技术用于 DRAM 内存量产

IT之家 9 月 11 日消息，参考路透社此前报道，SK 海力士在一份声明中表示， 该企业目标在 2028 年将 High NA（高数值孔径）EUV 光刻图案化工艺应用于 DRAM 的大规模生产 。 ASML 在当地时间本月 8 日宣布与台积电、三星电子、英特尔合作，推动 High NA EUV 生态系统转向面积更大的 12 英寸掩膜（光罩）。 SK 海力士正评估是否加入这一联盟 。 IT之家注意到，三星电子在同日新闻稿中确认计划在 2028 年将 High NA EUV 技术用于先进 DRAM 内存的大规模生产；美光则曾表示，计划为第 7 代 10nm 级 DRAM 工艺 1δ (1-del…