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浙大团队国内首发硅-28 硅烷特气与外延片:化学纯度达 99.99998%,填补国内相关材料空白

IT之家 10 月 22 日消息,浙江大学杭州国际科创中心量子信息硅团队在上周举行的第二届量子科技前沿论坛上,国内首次发布了硅-28 硅烷特气与 4 英寸硅-28 外延片两项成果。 该团队由中国科学院院士杨德仁与浙江大学教授余林蔚带领,成果属于国家级课题“量子信息硅-28 同位素外延片制备及应用”的阶段性进展。这是国内团队首次同时公布从硅-28 特气到外延基材的完整材料数据。 硅元素有硅-28、硅-29、硅-30 三种稳定同位素。硅-28 的原子核自旋为零,不会像硅-29 和硅-30 那样产生核自旋噪声,因此被视为硅基量子芯片最理想的衬底材料。但三种同位素的化学性质极为接近,高丰度硅-28 的…

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